原子力显微镜(室温）Park
Park XE7，提供高精度的纳米测量。Park的串扰消除技术不仅改善了扫描器弓形弯曲的缺点，还能够在不同扫描位置，扫描速率和扫描尺寸条件下进行平直正交XY轴扫描。即使最平坦的样品也不会出现如光学平面,各种偏移扫描等曲率的背景。
独立闭环XY和Z柔性扫描器，正交XY扫描，精确的高度测量保留真实的样品表面形貌信息。
扫描范围：50X50X25um
制样须知： 1.样品大小最大3cm×3cm，厚度最厚1cm 。2.样品上下表面整洁，没有油渍灰尘等污染物. 3.仪器最大扫描范围30×30×14um 。 4.如果是要测试薄膜厚度，预先把薄膜和基底作出一个边界清楚的台阶。
