热蒸发镀膜仪
仪器预约
仪器介绍: 主要用来蒸镀金属层,能精确控制蒸镀速率和厚度。
电阻热蒸发加热,加装氩刻装置,可在蒸镀前对样品表面进行等离子体刻蚀,增加蒸镀薄膜与样品的贴合性。
热蒸发两个坩埚,最大可放置4英寸圆形样品。
地址:上海市东川路800号理科实验楼群邮编:200240
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