设备介绍

热蒸发镀膜仪

仪器预约

仪器介绍: 主要用来蒸镀金属层,能精确控制蒸镀速率和厚度。

电阻热蒸发加热,加装氩刻装置,可在蒸镀前对样品表面进行等离子体刻蚀,增加蒸镀薄膜与样品的贴合性。

热蒸发两个坩埚,最大可放置4英寸圆形样品。

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地址:上海市东川路800号理科实验楼群
邮编:200240

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