紫外直写光刻机

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仪器介绍：量子科学仪器 MicroWriter ML3 是一款多功能激光直写光刻系统，采用385nmLED光源，wafer最大195*195 mm，最高精度400nm。具有高直写速度，高分辨率的特点。集成化设计，全自动控制，可靠性高，操作简便。为微流控、SAW、半导体、自旋电子学等研究领域提供方便高效的微加工方案。